菲希爾相敏渦流法工作原理

涂層厚度測量的物理原理
相敏渦流法是根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO21968測量涂鍍層層厚度的一種方法，它是對傳統(tǒng)的振幅敏感渦流法的一種改進(jìn)方法。相敏渦流法可用于測量任何基材上的導(dǎo)電涂層，例如，印刷電路板上的銅層，鋼鐵或絕緣材料上的鍍鎳層。

相敏渦流法相對于磁感應(yīng)法 或振幅敏感渦流法的一個(gè)優(yōu)勢是其不太容易受到太多外界因素的影響。例如，樣品的曲率或其表面粗糙度幾乎不會影響測量結(jié)果。因此，相敏渦流法是測量小零件鍍鋅層厚度的理想選擇，且無需額外校準(zhǔn)。

相敏渦流法的工作原理
相敏渦流法所用的探頭由周圍圍繞著兩個(gè)線圈的鐵素體鐵芯組成。首先，勵磁線圈中的電流產(chǎn)生高頻磁場(kHz-MHz范圍)，該磁場在樣品中產(chǎn)生渦流。

探頭里的另一個(gè)線圈，即測量線圈，用來測量交變電阻(阻抗)。探頭的阻抗通過樣品中的渦流修正，與無樣品時(shí)探頭產(chǎn)生的激勵渦流相比，其相位發(fā)生偏移(相位角φ)。

相位角φ與鍍層厚度以及材料的電導(dǎo)率有關(guān)。如果電導(dǎo)率已知，則儀器將此相位與已存儲的特征曲線進(jìn)行對比，并將其轉(zhuǎn)換為涂層厚度值。